梓琪和童小芸对于生产cu的工艺都非常感兴，缠着范无病带她们去参观一下。

“其实也没有什么好看的，不过你们既然想看，那就去一趟儿好了。”范无病经不住她们的纠缠，于是就答应了下来。

当然，去看cu的制造过程，同去看种大白菜是不同的，范无病提前跟厂里面打了招呼，让他们安排一个方便的时间。

在王荣昌这里呆了两天之后，范无病就带着梓琪和童小芸去了范氏的芯片制造基地，去参观cu的制造过程。

范氏的芯片制造基地，前后总投资超过了十亿美元，由五千名工人历时两年多建造完成，期间一共使用了三万吨钢材和差不多十万立方米的混凝土，铺设了一百多万米长的线缆和二十万米长的管道。

这个制造基地的占地总面积约二十万平方米，相当于将近三十个标准足球场，其中一级无尘室面积达到了四万平方米。在这种大型无尘室里，每立方英尺空间内不小于零点五微米的尘埃数目不允许超过一粒，比医院术室还要干净一百倍。

为了保持无尘环境投入了很高成本，不过，并非所有的车间都需要这种无尘的环境。有的是，地面并非是我们平常所了解的硬地板，而是采用的一种类似于网状的设计，但是非常的坚固，目的是保持空气的流通。房间的空气，每四分钟就要完全的更换一次。

经过了非常严格而繁琐的除尘以及其他环节之后，范无病和梓琪、童小芸在厂方工程师的陪同下，进入了其中的一个无尘车间，在这里工作人员必须穿防尘服，免得让晶圆遭受污染。

他们远远地看过去的时候，就发现远处的技术人员怀里抱着一种盒子走来走去，据工程师介绍，这种盒子一般叫lt，里面装的就是晶圆。那些技术人员要做的，就是把这个lt安装在一个器或者是叫处理工具当中。

基于成本方面的考虑，只有lt入口是在无尘房间中，而其他部分是在低于无尘等级的hase当中。

在工程师的提醒下，梓琪她们特意留意了一下刚才提到的hase”车间的地板，同时也注意到处理那些晶圆片的器，也就是处理刚才技术人员抱着的lt。

整个工厂的无尘房间和器数量是非常的可观的，因为制造一个cu晶圆片的工艺过程是非常的复杂的。

一个ent4cu要使用二十六道光刻掩膜工序，每一个工序又需要很多的处理步骤，再加上搀杂以及金属镀层等，最后一个cu制造工序就有上百道。

很多车间中需要使用紫外线照射，这是必不可少的，但是在无尘车间中通常要使用白光，而范无病他们刚参观的那个无尘车间使用的则是橙色光，这又与其他的无尘车间使用的不同，据工程师解释，这是因为这里是晶圆加工的初步工序，而原因是cu的某一层对白光非常敏感。

工作人员不能直接的接触晶圆片，而是要放在那叫lt的黑色方盒子中，每个盒子能放二十五张晶圆片。这种lt采用的是铝质材料做金属层，颜色是黑的。

当工作人员把lt放到处理器当中的时候，器将会逐个的提取这二十五张晶圆片，处理完毕后再放回到lt中。

从一个无尘房间到另一个无尘房间，lt都是按照预定轨迹自动的被传送的。天花板上面有一条自动轨道，那个轨道就是用来传送lt的。

在某些条件下，lt是被直接的输送到相应的器当中，不需要人工的干预。在每
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